净化车间的主要功能是控制产品(如硅芯片)接触到的空气的清洁度和温度和湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产和制造。这个空间叫净化车间。按照惯例,无尘净化水平主要根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来确定。也就是说,所谓的无尘并不是没有灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然,与我们常见的灰尘相比,这个标准中符合灰尘标准的颗粒略大,但即使对于光学结构来说,也会有负面。
净化车间每立方米小于0.3微米粒径的灰尘数量控制在3500以下,达到无尘标准*。目前,芯片级生产加工中使用的净化车间的无尘标准对灰尘的要求高于*,这种高标准主要用于一些芯片生产。5μ每立方米1000个以下的微尘数量被严格控制,这就是业界所说的1K级。
为保持车间内的清洁度,需要控制人员数量。在考虑静电的前提下,还有严格的人员服装管理方法。
净化工程洁净服上身与下身应分开,穿着时要求,上衣必须放在下身。
穿着布料要求防静电,洁净室内相对湿度较低。防静电服装可将微粒附着率降至90%。
根据企业自身的需要,洁净等级较高的洁净室将使用披肩帽,其下摆应放在上衣内。
有的手套会有滑石粉,进入室内之前一定要把滑石粉去掉。
新买的洁净服必须先清洗后再穿,有条件的*用无尘水清洗。
为确保净化工程的净化效果,1-2周内必须清洗一次清洁服,整个过程应在清洁区域进行,避免附着颗粒。
Copyright © 2002-2019 沈阳尚仁净化科技有限公司 版权所有 备案号: 辽ICP备20002853号-1
Copyright 2005-2016 沈阳尚仁净化科技有限公司 ALL Rights Reserved 辽ICP备20002853号-1 实验室公司